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花蓮強震/台積電:主要機台所有極紫外光刻設備無受損

  • 時間:2024-04-04 09:10
  • 新聞引據:採訪
  • 撰稿編輯:陳林幸虹
花蓮強震/台積電:主要機台所有極紫外光刻設備無受損
台積電(tsmc)。(AFP)

台灣在昨天(3日)經歷過去25年來最強的芮氏規模7.2地震。新竹、龍潭和竹南等科學園區的最大震度級為5,台中和台南科學園區的最大震度級則為4。

台積電在4日凌晨表示,基於台積公司在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力,並定期進行安全演習以確保萬全準備。在4月3日地震發生後僅10小時內,晶圓廠設備的復原率已超過70%,新建的晶圓廠(晶圓十八廠)的復原率更已超過80%。雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產,但主要機台包含所有極紫外(EUV)光刻設備都無受損。

台積電也表示,公司在台灣的晶圓廠工安系統正常,為確保人員安全,依公司內部程序啟動相關預防措施,部分廠區在第一時間進行疏散,人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位。

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