國研院儀科中心加持台日學界共創先進半導體元件獲30萬元獎金 - 新聞

國家實驗研究院今天(30日)舉行研發服務平台亮點成果獎，其中由台日學界合作，並使用儀科中心的「次埃解析度原子結構研究與應用」研發服務平台，創新研發出先進半導體元件等技術，獲得最高特優殊榮，抱走新台幣30萬元獎金。

國研院旗下有8個研究中心，建置國內大學難以單獨購置的貴重軟硬體設施。為表彰產官學研各界使用國研院的研發服務平台做出頂尖的科研成果，國研院今年首度徵選「研發服務平台亮點成果獎」。

最高殊榮特優獎是由台灣大學材料科學與工程學系特聘教授楊哲人整合清大、陽明交通、中山、中興大學、日本京都工業大學、宜特科技及美商E.A. Fischione Instruments共同組成的研究團隊，使用台灣儀器科技研究中心「次埃解析度（sub-Å）原子結構研究與應用」研發服務平台，抱走獎金30萬元。

楊哲人指出，由於此研發服務平台配備「原子解析度像差修正掃描穿透式電子顯微鏡」，點解析度為目前國內最高，「可以看得更清楚」，這項研究於材料相變態、先進半導體元件、二維材料及三維原子結構分析技術等方面均獲得優異的創新研發成果，「此平台若再善加利用，連台積電都要跟我們學習」。他說：『(原音)一個半導體的製程，工程師只能告訴我們說量多少，但這是不夠的，我們要知道這些原子的布局，原子到底跑到什麼地方，然就就能表現出特異功能出來，所以我們現在半導體產業這些5奈米、3奈米再下去，這些原子實在太重要了。』

國研院也指出，研究團隊建立了全球最完整的航太級鋁合金析出物、完成下世代二維材料與量子點半導體元件原子結構與成分分析，以及國內首創的「原子解析度三維顯微結構」分析技術，提供國際學術界與產業界全新的視野。